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工業相機又俗稱攝像機,相比于過去的民用相機(攝像機)而言,它具備高的圖像穩定性能、高傳輸數據能力和高抗干擾性等,現階段市場上工業相機基本上都是基于CCD或CMOS芯片的相機。
按照使用的不一樣分別采用CCD或CMOS相機CCD工業相機主要是使用在運動物體的圖像提取,如貼片機視覺檢測系統,不過伴隨著CMOS技術的發展,很多貼片機也在采用CMOS工業相機。應用于視覺自動檢測的計劃方案或制造行業中通常用CCD工業相機比較多。CMOS工業相機由低成本,能耗低也使用變得越來越廣泛。
其中,CCD是現階段視覺檢測系統最為常用的圖像傳感器。它集光電轉換及電荷存儲、電荷轉移、信號讀取于一體,是常見的固態成像元器件。
CCD的突出特點是用電荷作為信號,而有別于其他元器件是用電流或者電壓為信號。這種成像元器件通過光電轉換產生電荷包,而后在驅動脈沖的效果下轉移、放大輸出圖像信號。
常見的CCD相機由光學鏡頭、時序及同步信號發生器、垂直驅動器、模擬/數字信號處理電路組成。CCD作為一類功能元器件,與真空管相比較,具備無灼傷、無遲滯、低壓工作、低功耗等優點。
CMOS(互補金屬氧化物半導體)圖像傳感器是當今使用最普遍、重要性最高的傳感器之一。其主要是采用感光單元陣列和輔助控制電路獲取對象景物的亮度和色彩信號,并通過復雜的數字信號處理和圖像處理技術輸出數字化的圖像信息。CMOS圖像傳感器是一個高度集成的圖像系統芯片。當外界光線照射到CMOS圖像傳感器上的時候,傳感器擁有的感光單元陣列會發生光電效應,光電效應使得陣列上的每個感光單元產生對應外界色彩和亮度的電荷信號,之后信號會被模擬-數字轉換電路轉換成數字圖像信號,從而還原出現實的影像。
CMOS圖像傳感器將光敏元陣列、圖像信號放大器、信號讀取電路、模數轉換電路、圖像信號處理器及控制器集成在一塊芯片上,還具備局部像素的編程隨機訪問的優點。
現階段,CMOS圖像傳感器以其良好的集成性、低功耗、高速傳輸和寬動態范圍等特點在機器視覺檢測系統的高分辨率和高速場合得到了廣泛的使用。
在半導體芯片制造過程中,由于各種因素導致的芯片表面或內部通道形成芯片流道臟污。這些污染可能包括但不限于:
在半導體行業中,晶圓在進行工藝前后會進行字符的視覺檢測,用于產品信息入庫記錄標識,但與傳統方式產生的油墨、單點字符不一樣,雕刻的字符采用的是半導體行業專用的Semidouble-雙密度點陣特殊字體,使用傳統視覺方式進行定位及識別穩定性較差,很容易出現字符識別錯誤及漏檢。
機器視覺檢測孔位缺陷及計數
3D相機在小型零件檢測中的效果是非常顯著的,具體優勢如下:
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