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AOI機器視覺行業先行者

為什么說機器視覺貫穿晶圓制造各階段?

發布時間:2023-09-01瀏覽量:873作者:康耐德


  從晶圓到芯片是一個復雜的過程,晶圓是制造芯片的基本材料,由高純度的單晶硅切割而成。芯片則是基于晶圓上制造出的微小電子元件,從晶圓到芯片,機器視覺檢測系統貫穿始終,為制造工藝提供了重要的支持和保障。

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  在晶圓制造階段,機器視覺檢測系統主要用于以下工序:

  1.表面檢測:通過對晶圓表面進行掃描,檢測表面是否存在雜質、劃痕、凸起等缺陷。

  2.尺寸測量:通過高精度測量系統,對晶圓的直徑、厚度、形狀等進行測量,確保晶圓尺寸符合要求。

  3.表面激光字符識別:利用機器視覺檢測系統識別刻寫在晶圓表面的字符,包括產品信息、批次號等。

  4.晶圓切割:通過機器視覺檢測系統對晶圓進行精確切割,確保切割后的芯片尺寸和形狀一致。

  5.定位與找切割道:利用機器視覺檢測系統對晶圓進行精確定位,確保切割道的位置準確,從而提高芯片的良率。

  6.缺陷檢測:在晶圓制造的各個階段進行缺陷檢測,包括表面缺陷、線寬均勻性等,確保產品質量。


  康耐德智能在半導體領域也進行了自主研發,針對晶圓和晶片對位、封裝元件切割檢測、半導體晶圓切割質量檢測、半導體晶片ic表面檢測、芯片印刷字符識別都有一系列的機器視覺系統解決方案。

  從晶圓到芯片的生產過程中,機器視覺系統發揮著重要的作用。在各個制造工序中,機器視覺系統的應用不僅提高了生產效率,還為產品質量提供了有力保障。


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